PERANCANGAN ULANG MAGNET PENGANALISIS PADA IMPLANTOR ION DENGAN SIMULATOR SUPERFISH DAN OPERA-3D

Abstract

PERANCANGAN ULANG MAGNET PENGANALISIS PADA IMPLANTOR ION DENGAN SIMULATOR SUPERFISH dan OPERA-3D. Telah dilakukan perancangan ulang magnet penganalisis pada implantor ion. Agar ion yang diimplantasikan pada suatu target adalah ion tunggal maka diperlukan magnet penganalisis. magnet penganalisis dapat memisahkan ion-ion pengotor dari berkas ion yang dipercepat sehingga dihasilkan ion tunggal. Implantor ion di PTAPB telah dilengkapi dengan magnet penganalisis, tetapi masalahnya adalah data desain detilnya belum ada dan belum berfungsi secara optimal sehingga akan menghambat untuk keperluan perawatan dan pengembangan. Tujuan dari kegiatan ini adalah untuk memperoleh data teknis magnet penganalisis dan melakukan optimasi desain. Untuk mencapai tujuan tersebut, kegiatan diawali dengan mencari pustaka yang berhubungan dengan magnet penganalisis, melakukan perhitungan detil dengan mempertimbangkan parameter yang telah ada, simulasi terhadap desain yang telah dibuat, penentuan parameter desain dan optimasi dari desain yang telah ada. Dari kegiatan ini dapat diperoleh dokumen desain detil magnet penganalisis untuk energi partikel 150 keV dengan sudut pembelokan 60o serta kemampuan memisahkan partikel dengan m/z = 8 amu. Sedangkan optimasi dari desain sebelumnya dapat dilakukan dengan mengubah bentuk inti magnet tipe C menjadi tipe H, mengubah bentuk kutub magnet menjadi segi empat dengan posisi berkas yang masuk membentuk sudut  positif dan lebih condong ke tepi kutub magnet.
Kata kunci : implantor ion, magnet penganalisis, desain detil, optimasi