DESAIN DAN KONSTRUKSI CORONG PEMAYAR MESIN BERKAS ELEKTRON

Abstract

DESAIN DAN KONSTRUKSI CORONG PEMAYAR MESIN BERKAS ELEKTRON. Telah dilakukan desain dan konstruksi corong pemayar mesin berkas elektron. Dalam mesin berkas elektron, corong pemayar digunakan untuk melewatkan berkas elektron. Agar dapat berfungsi dengan baik maka harus divakumkan sampai 10-6 mbar. Desain ini adalah untuk menentukan jenis dan demensi material dalam pengkonstruksian corong pemayar sehingga jika divakumkan tidak terjadi defleksi. Dari hasil desain dan konstruksi corong pemayar didapatkan hasil rancangan dalam bentuk gambar susunan dan detil serta konstruksi bagian-bagian corong pemayar untuk mesin berkas elektron. Menurut perhitungan untuk konstruksi corong pemayar digunakan bahan stainless steel 316 L. Agar didapatkan defleksi yang terjadi kurang dari 4 mm digunakan sirip penahan stainless steel 316 L dengan tebal 10 mm sebanyak 12 buah. Dalam konstruksinya untuk sirip penahan ke 7 sampai ke 12 digunakan stainless steel 316 L tebal 20 mm. Hasil pengujian menunjukkan bahwa defleksi maksimum terjadi pada sirip penahan ke 5 dan ke 10 yaitu sebesar 1 mm sehingga jauh lebih kecil dibanding yang direncanakan. Tingkat kevakuman akhir dengan pompa rotari saat masih terjadi kebocoran adalah 5×10-1 mbar dan setelah diperbaiki sehingga kebocoran tidak terjadi adalah 6,6×10-2 mbar. Pengujian tingkat kevakuman akhir dengan pompa difusi saat masih ada kebocoran tidak dapat dilakukan, sedangkan setelah diperbaiki sehingga tidak terjadi kebocoran adalah 5×10-4 mbar. Tingkat kevakuman akhir yang dapat dicapai baik dengan pompa rotari maupun pompa difusi hampir mendekati kemampuan pompa ratari dan pompa difusi yang digunakan.