PENGARUH TEKANAN DAN WAKTU DEPOSISI SPUTTERING TERHADAP SENSITIVITAS SENSOR GAS SnO2PENGARUH TEKANAN DAN WAKTU DEPOSISI SPUTTERING TERHADAP SENSITIVITAS SENSOR GAS SnO2

Abstract

PENGARUH TEKANAN DAN WAKTU DEPOSISI SPUTTERING TERHADAP SENSITIVITAS SENSOR GAS SnO2. Telah dilakukan penelitian mengenai pengaruh variasi tekanan dan waktu deposisi sputtering terhadap sensitivitas sensor gas SnO2 yang difabrikasi dengan metode DC sputtering. Variasi tekanan dimulai dari 3×10-2, 4×10-2, 5×10-2, 6×10-2 dan 7×10-2 Torr serta variasi waktu dimulai dari 30, 60, 90 dan 120 menit dengan tegangan tinggi DC sebesar 2 kV dan suhu deposisi 250 °C. Hasil eksperimen menunjukkan bahwa lapisan tipis SnO2 yang dideposisi dengan parameter sputtering : tegangan 2 kV, arus 10 mA, tekanan 7×10-2 Torr, waktu 120 menit dan suhu 250 °C mempunyai sensitivitas optimun untuk mendeteksi gas C2H5OH, NH3, CO dan HNO3. Dari hasil pengujian sensitivitas menunjukkan bahwa sensor gas dari bahan SnO2 mempunyai sensitivitas tertinggi terhadap gas C2H5OH dengan sensitivitas 46,96 % dan gas NH3 dengan sensitivitas 41,91 % pada konsentrasi 5.529 ppm. Kemudian dari hasil analisa unsur dan tebal lapisan SnO2 pada kondisi optimum menggunakan SEM–EDS diperoleh Sn sebesar 30,68% dan O sebesar 69,32 % dan tebal lapisan SnO2 sebesar ± 4,5 μm.