EFEK RESISTANSI DAN GMR DARI PERMALLOY (Ni80Fe20) YANG DIDEPOSISIKAN PADA SUBSRAT GELAS DENGAN VARIASI SUHU

Moh. Toifur, Sugiyanto Sugiyanto, Sujatmoko Sujatmoko, Tono Wibowo

DOI: http://dx.doi.org/10.17146/jsmi.2000.2.1.4905

Abstract


EFEK RESISTANSI DAN GMR DARI PERMALLOY (Ni80Fe20) YANG DIDEPOSISIKAN PADA SUBSRAT GELAS DENGAN VARIASI SUHU. Telah dilakukan deposisi permalloy (Ni80Fe20) di atas subsrat gelas dengann variasi suhu subsrat yang bertujuan untuk megetahui perngaruhnya pada resistansi dan efek GMR lapisan. Pelapisan dilakukan dengan mesin dc sputtering yang dilengkapi dengan pengatur tekanan vakum, tekanan gas sputtering serta pengendali suhu. Sebagai sputtering gas-nya digunakan gas argon. Karakterisasi resistansi dilakukan dengan metoda probe empat titik dibawah pengaruh medan magnet luar yang diatur dari 0 sampai 150 gauss. Dari hasil analisis komposisi unsur deposit menggnakan XRF diketahui bahwa deposit mengandung unsur Ni dan Fe yang sama dengan unsur-unsur target dengan perbandingan 4:1. Dari uji resistansi dibawah pengaruh medan magnet diperoleh hasil bahwa suhu substrat memberikan pengaruh terhadap resistansi dan efek GMR lapisan tipis permalloy hal mana sangat terkait dengan profil struktur mikro substrat serta adanya defek kristal dan impuritas, namun medan magnetisasi tidak memberi pengaruh pada kedua parameter tersebut. Nilai resistansi terbesar adalah (104739,00±1,04) 10-3 ohm yang diperoleh pada suhu deposisi 400oC sedang efek GMR terbesar adalah 0,304% diperoleh pada suhu deposisi 300oC hal mana sesuai dengan lapisan tipis temuan Pool yaitu 0.3%.

Keywords


Magnetoresistansi raksasa, permalloy, sputtering, metoda probe empat titik, XRF

Refbacks

  • There are currently no refbacks.


Copyright (c) 2000 Jurnal Sains Materi Indonesia

Creative Commons License
This work is licensed under a Creative Commons Attribution-NonCommercial-ShareAlike 4.0 International License.


Center for Science & Technology of Advanced Materials - National Nuclear Energy Agency of Indonesia
Phone : +62 21-758 74261, +62 21-756 2860 ext. 4009-4010, Fax.: +62 21-756 0926, e-mail: jusami@batan.go.id



preview previewpreviewpreviewpreviewpreviewpreviewpreviewpreview previewpreview

View My Stats
Creative Commons LicenseCopyright © 2019 Jusami | Indonesian Journal of Materials Science. This work is licensed under a Creative Commons Attribution-NonCommercial-ShareAlike 4.0 International License (CC BY-NC-SA 4.0).