EFEK RESISTANSI DAN GMR DARI PERMALLOY (Ni80Fe20) YANG DIDEPOSISIKAN PADA SUBSRAT GELAS DENGAN VARIASI SUHU

Abstract

EFEK RESISTANSI DAN GMR DARI PERMALLOY (Ni₈₀Fe₂₀) YANG DIDEPOSISIKAN PADA SUBSRAT GELAS DENGAN VARIASI SUHU. Telah dilakukan deposisi permalloy (Ni₈₀Fe₂₀) di atas subsrat gelas dengann variasi suhu subsrat yang bertujuan untuk megetahui perngaruhnya pada resistansi dan efek GMR lapisan. Pelapisan dilakukan dengan mesin dc sputtering yang dilengkapi dengan pengatur tekanan vakum, tekanan gas sputtering serta pengendali suhu. Sebagai sputtering gas-nya digunakan gas argon. Karakterisasi resistansi dilakukan dengan metoda probe empat titik dibawah pengaruh medan magnet luar yang diatur dari 0 sampai 150 gauss. Dari hasil analisis komposisi unsur deposit menggnakan XRF diketahui bahwa deposit mengandung unsur Ni dan Fe yang sama dengan unsur-unsur target dengan perbandingan 4:1. Dari uji resistansi dibawah pengaruh medan magnet diperoleh hasil bahwa suhu substrat memberikan pengaruh terhadap resistansi dan efek GMR lapisan tipis permalloy hal mana sangat terkait dengan profil struktur mikro substrat serta adanya defek kristal dan impuritas, namun medan magnetisasi tidak memberi pengaruh pada kedua parameter tersebut. Nilai resistansi terbesar adalah (104739,00±1,04) 10^-3 ohm yang diperoleh pada suhu deposisi 400^oC sedang efek GMR terbesar adalah 0,304% diperoleh pada suhu deposisi 300^oC hal mana sesuai dengan lapisan tipis temuan Pool yaitu 0.3%.