KARAKTERISASI LAPISAN TIPIS SnO2- SPUTTERING DC SEBAGAI ELEMEN SENSOR GAS CO

Lizda J. Mawarani, Agus Santoso (Alm.), Agung Budiono, Anang Pribady

DOI: http://dx.doi.org/10.17146/jusami.2006.8.1.4816

Abstract


KARAKTERISASI LAPISAN TIPIS SnO2- SPUTTERING DC SEBAGAI ELEMEN SENSOR GAS CO. Lapisan tipis SnO2 dapat berfungi sebagai sensor gas CO, namun masih kurang stabil terhadap waktu, serta selektivitas dan sensitivitas terhadap gas masih kurang. Untuk memperoleh hasil yang lebih baik dalam penelitian ini metode Sputtering DC digunakan dalam deposisi lapisan tipis SnO2 dengan memvariasi waktu deposisi sputtering, waktu pendinginan pasca sputtering dan suhu operasi sensor (dalam karakterisasi). Diperoleh hasil terbaik untuk sampel dengan waktu deposisi 2 jam dan waktu pendinginan 3 jam, pada suhu operasi 250 oC. Dari penelitian ini dihasilkan sensor dengan kestabilan terhadap waktu yang relatif konstan pada nilai 38,85±4 kΩ. Selektivitas terhadap gas CO juga lebih baik dan sensitivitas memiliki gradian 4,1863(%ΔR)/ppm gas CO

Keywords


Sensor gas CO, lapisan tipis SnO2, kestabilan, sensitivitas, selektivitas

Refbacks

  • There are currently no refbacks.


Copyright (c) 2018 Jurnal Sains Materi Indonesia

Creative Commons License
This work is licensed under a Creative Commons Attribution-NonCommercial-ShareAlike 4.0 International License.


Center for Science & Technology of Advanced Materials - National Nuclear Energy Agency of Indonesia
Phone : +62 21-758 74261, +62 21-756 2860 ext. 4009-4010, Fax.: +62 21-756 0926, e-mail: jusami@batan.go.id



preview previewpreviewpreviewpreviewpreviewpreviewpreviewpreview previewpreview

View My Stats
Creative Commons LicenseCopyright © 2019 Jusami | Indonesian Journal of Materials Science. This work is licensed under a Creative Commons Attribution-NonCommercial-ShareAlike 4.0 International License (CC BY-NC-SA 4.0).