KARAKTERISASI LAPISAN TIPIS SnO2- SPUTTERING DC SEBAGAI ELEMEN SENSOR GAS CO

User

Article Tools

Email this article (Login required)

Email the author (Login required)

About The Authors

Lizda J. Mawarani
Jurusan Teknik Fisika FTI - ITS Kampus ITS Keputih Sukolilo, Surabaya 60111
Indonesia

Agus Santoso (Alm.)
Pusat Teknologi Akselerator dan Proses Bahan (PTAPB) - BATAN Jl. Babarsari Kotak Pos 1008, Yogyakarta 55110
Indonesia

Agung Budiono
Jurusan Teknik Fisika FTI - ITS Kampus ITS Keputih Sukolilo, Surabaya 60111
Indonesia

Anang Pribady
Jurusan Teknik Fisika FTI - ITS Kampus ITS Keputih Sukolilo, Surabaya 60111
Indonesia

Journal Content
Browse