PENGARUH KANDUNGAN OKSIGEN FILM TIPIS TiO2-Co YANG DITUMBUHKAN DENGAN TEKNIK MOCVD TERHADAP RESPON FEROMAGNETIKNYA
), Edy Supriyanto(2), Mujamilah Mujamilah(3), Pepen Arifin(4), Mohamad Barmawi(5),
(1) Laboratorium Fismatel, Program Studi Fisika - ITB Jl. Ganesha No. 10, Bandung 40132 urusan Fisika - Universitas Pattimura Jl. Ir. M. Putuhena, Kampus Poka, Ambon
(2) Laboratorium Fismatel, Program Studi Fisika - ITB Jl. Ganesha No. 10, Bandung 40132
(3) Pusat Teknologi Bahan Industri Nuklir (PTBIN) - BATAN Kawasan Puspiptek Serpong 15314, Tangerang
(4) Laboratorium Fismatel, Program Studi Fisika - ITB Jl. Ganesha No. 10, Bandung 40132
(5) Laboratorium Fismatel, Program Studi Fisika - ITB Jl. Ganesha No. 10, Bandung 40132
Corresponding Author
Abstract
PENGARUH KANDUNGAN OKSIGEN FILM TIPIS TiO2-Co YANG DITUMBUHKAN DENGAN TEKNIK MOCVD TERHADAP RESPON FEROMAGNETIKNYA. Penumbuhan film tipis TiO2-Co telah dilakukan di atas substrat Si dengan teknik MOCVD. Sifat feromagnetiknya diinvestigasi pada suhu ruang. Konsentrasi kandungan oksigen pada matriks kisi kristal film direkayasa melalui proses penganilan. Film tipis TiO2-Co sebelum dianil menunjukkan sifat feromagnetik pada suhu ruang. Karakteristik magnetik, Ms dan Hc bervariasi untuk setiap film. Nilai Ms bertambah dengan bertambahnya konsentrasi Co. Namun nilai momen magnetik rata-rata per atom Co menurun pada saat konsentrasi Co pada film bertambah. Film tipis TiO2.Co dianil pada tekanan 10-3 Torr dan suhu 450 oC selama 120 menit, dan menunjukkan suatu pengurangan konsentrasi O. Pengurangan konsentrasi O meningkatkan nilai Ms film. Sesuai dengan model teori yang diusulkan oleh peneliti lain, fenomena ini diduga disebabkan oleh hadirnya kekosongan O di sekitar ion Co pada matriks kisi TiO2-Co. Seluruh film tipis hasil penumbuhan memiliki karakter magnetik lembut sebagaimana diharapkan untuk aplikasi spintronika.
Keywords
Film tipis TiO2-Co, MOCVD, feromagnetik
DOI: 10.17146/jusami.2006.0.0.5177
Email this article 
.png)
