SINTESIS FILM TIPIS SUPERKONDUKTOR MgB2 DENGAN TEKNIK PULSED LASER DEPOSITION

Engkir Sukirman; M. Ohkubo; Y. Nakagawa; H. Yamasaki; S. Kashiwaya

doi:10.17146/jsmi.2002.3.3.5066

SINTESIS FILM TIPIS SUPERKONDUKTOR MgB2 DENGAN TEKNIK PULSED LASER DEPOSITION

Engkir Sukirman⁽¹⁾, M. Ohkubo⁽²⁾, Y. Nakagawa⁽³⁾, H. Yamasaki⁽⁴⁾, S. Kashiwaya⁽⁵⁾,

(1) Puslitbang Iptek Bahan (P3IB) - BATAN Kawasan Puspiptek, Serpong, Tangerang 15314
(2) National Institute of Advanced Industrial Science and Technology Tsukuba, Japan
(3) National Institute of Advanced Industrial Science and Technology Tsukuba, Japan
(4) National Institute of Advanced Industrial Science and Technology Tsukuba, Japan
(5) National Institute of Advanced Industrial Science and Technology Tsukuba, Japan

Corresponding Author

Abstract

SINTESIS FILM TIPIS SUPERKONDUKTOR MgB₂ DENGAN TEKNIK PULSED LASER DEPOSITION. Film tipis superkonduktor MgB₂ telah disintesis dengan teknik pulsed laser deposition pada substrate Al₂O₃ (001). Sifat listrik film dikarakterisasi dengan metode four point probe, strukturmikro diamati dengan SEM, fasa bahan dianalisis secara kualitatif dan kuantitatif berturut-turut dengan XRD dan EDAX. Hasil analisis menunjukkan bahwa film menampilkan suhu transisi kritis T_c,0= 10 K, ukuran butir lebih kecil dari 10 μm dan acak sehingga MgB₂ dan fasa-fasa lain yang diduga kuat ada di dalam film tidak teramati dengan XRD, namun persen atomMg, B dan O dapat dideteksi dengan EDAX, filmmasih kekurangan magnesium dan terkontaminasi oksigen. Untuk mengimbangi hilangnya unsur Mg akibat penguapan dan menjaga agar Mg tidak teroksidasi, perlu dilakukan optimasi tekanan gas argon dan plasma magnesium di dalam kamar deposisi.