STRUKTUR DAN SIFAT OPTIK FILM ZnO HASIL DEPOSISI DENGAN TEKNIK SPIN-COATING MELALUI PROSES SOL-GEL

Akhiruddin Maddu; Candra A. Basuki; Irmansyah Irmansyah; Sidikrubadi Pramudito

doi:10.17146/jsmi.2006.7.3.4987

STRUKTUR DAN SIFAT OPTIK FILM ZnO HASIL DEPOSISI DENGAN TEKNIK SPIN-COATING MELALUI PROSES SOL-GEL

Akhiruddin Maddu⁽¹⁾, Candra A. Basuki⁽²⁾, Irmansyah Irmansyah⁽³⁾, Sidikrubadi Pramudito⁽⁴⁾,

(1) Departemen Fisika, FMIPA - IPB Kampus IPB Darmaga, Bogor
(2) Departemen Fisika, FMIPA - IPB Kampus IPB Darmaga, Bogor
(3) Departemen Fisika, FMIPA - IPB Kampus IPB Darmaga, Bogor
(4) Departemen Fisika, FMIPA - IPB Kampus IPB Darmaga, Bogor

Corresponding Author

Abstract

STRUKTUR DAN SIFAT OPTIK FILM ZnO HASIL DEPOSISI DENGAN TEKNIK SPIN-COATING MELALUI PROSES SOL-GEL. Film ZnO telah dibuat pada substrat kaca dengan teknik deposisi spin coating melalui proses sol-gel. Pembuatan film ZnO dari prekursor zinc acetate dengan laju putaran 3.000 rpm selama 60 detik di atas pelat spin coater. Film yang diperoleh dikeringkan pada suhu ruang kemudian dilakukan annealing pada suhu 500 ^oC selama 3 jam. Hasil XRD menunjukkan bahwa film ZnO yang terbentuk adalah polikristal wurtzite heksagonal dengan nilai parameter kisi masing-masing adalah a = 3,290 Å dan c = 5,2531 Å. Ukuran kristal rata-rata ZnO adalah 29,554 nm. Berdasarkan morfologi permukaan hasil foto SEM menunjukkan film ZnO berbentuk lempengan-lempengan (disks) yang tidak seragamdan tidak beraturan. Karakterisasi spektroskopi UV-Vis menghasilkan karakteristik optik film ZnO, yaitu spektrum transmitansi optik dalam rentang panjang gelombang 370 nm sampai dengan 970 nm. Dari data spektrum UV-Vis tersebut ditentukan lebar celah energi ZnO sebesar 3,2 eV.