EFEK PENAMBAHAN DOSIS ION Ar+ TERHADAP PROSES PENUMBUHAN CARBON NANOTUBE DARI NANOKOMPOSIT Fe-C

Abstract

EFEK PENAMBAHAN DOSIS ION Ar+ TERHADAP PROSES PENUMBUHAN CARBON NANOTUBE DARI NANOKOMPOSIT Fe-C. Telah dilakukan penelitian efek dosis ion Ar⁺ terhadap proses penumbuhan Carbon Nanotube (CNT) dari nanokomposit Fe-C dengan teknik implantasi ion. Kompaksi Fe-C sebagai target pembuatan lapisan tipis nanokomposit Fe-C tersusun atas serbuk nanokomposit Fe-C, yang dipersiapkan melalui proses milling dengan teknik High Energy Milling (HEM) selama 50 jam. Morfologi serbuk Fe-C hasil miling diamati dengan Scanning Electron Microscope (SEM) guna mengetahui ukuran partikel serbuk. Selanjutnya, serbuk Fe-C hasil milling dikompaksi untuk menjadi target DC-Sputtering. Lapisan tipis Fe-C/Si yang terbentuk diimplant ion Ar+ dengan gas Argon sebagai sumber ion pada dosis 5 x 1015 ion/cm² hingga 1 x 1017 ion/cm². Selanjutnya, lapisan tipis Fe-C diidentifikasi fasanya dengan XRD, dan diamati penampang lintangnya dengan SEM. Hasil XRD setelah implant menunjukkan puncak intensitas difraksi turun seiring dengan peningkatan dosis ion Ar⁺. Hasil SEM menunjukkan ukuran partikel serbuk Fe-C dalam sekala nano. Selain itu hasil SEM juga memperlihatkan permukaan lapisan tipis tidak rata, ketidakrataan ini semakin jelas seiring dengan naiknya dosis, serta ditunjukkan pembentukan CNT di permukaan lapisan tipis Fe-C.