KARAKTERISASI STRUKTUR DAN SIFAT LISTRIK FILM TIPIS ZINC OXIDE DIDOPING GALLIUM DAN ALUMINIUM

Didik Aryanto; Sugianto Sugianto; Putut Marwoto; Sulhadi Sulhadi

doi:10.17146/jsmi.2014.15.3.4346

KARAKTERISASI STRUKTUR DAN SIFAT LISTRIK FILM TIPIS ZINC OXIDE DIDOPING GALLIUM DAN ALUMINIUM

Didik Aryanto⁽¹⁾, Sugianto Sugianto⁽²⁾, Putut Marwoto⁽³⁾, Sulhadi Sulhadi⁽⁴⁾,

(1) Pusat Penelitian Fisika, Lembaga Ilmu Pengetahuan Indonesia Kawasan Puspiptek, Serpong 15314, Tangerang Selatan, Indonesia Materials Research Group, Universitas Negeri Semarang Gunungpati, Semarang 50229 Jawa Tengah, Indonesia
(2) Jurusan Fisika, FMIPA, Universitas Negeri Semarang Materials Research Group, Universitas Negeri Semarang Gunungpati, Semarang 50229 Jawa Tengah, Indonesia
(3) Jurusan Fisika, FMIPA, Universitas Negeri Semarang Materials Research Group, Universitas Negeri Semarang Gunungpati, Semarang 50229 Jawa Tengah, Indonesia
(4) Jurusan Fisika, FMIPA, Universitas Negeri Semarang

Corresponding Author

Abstract

KARAKTERISASI STRUKTUR DAN SIFAT LISTRIK FILM TIPIS ZINC OXIDE DIDOPING GALLIUM DAN ALUMINIUM. Film tipis Zinc Oxide (ZnO) yang didoping unsur Gallium (Ga) dan Aluminium (Al) telah ditumbuhkan di atas gelas corning menggunakan DC Magnetron Sputtering. Efek dari doping Ga dan Al pada struktur dan sifat listrik film tipis ZnO telah dipelajari menggunakan X-Ray Diffractometer (XRD) dan I-Vmeter. Karakterisasi XRD menunjukkan bahwa film tipis ZnO murni dan ZnO yang telah didoping memiliki struktur polikristal dengan tipe heksagonal wurtzite. Kualitas dari film tipis ZnO meningkat dengan didoping unsur Ga, tetapi menurun ketika didoping unsur Al. Resistivitas dari film tipis ZnO berkurang ketika didoping dengan unsur Ga dan bertambah saat didoping unsurAl. Resistivitas terendah ditunjukkan film tipis ZnO yang didoping Ga (1%) sebesar 0,209 x 10⁷ Ωcm.