PENGARUH MEDAN DEPOSISI PADA STRUKTUR MIKRO, RESISTANSI DAN NISBAH MR LAPISAN TIPIS NiemYANG DISIAPKAN DENGAN DC MAGNETRON SPUTTERING

Abstract

PENGARUH MEDAN DEPOSISI PADA STRUKTUR MIKRO, RESISTANSI DAN NISBAH MR LAPISAN TIPIS NiemYANG DISIAPKAN DENGAN DC MAGNETRON SPUTTERING. Telah dibuat lapisan tipis Ni₈₀Fe₂₀ pada suhu substrat 200°C berbantuan medan deposisi 600 gauss. Penelitian bertujuan untuk mengamati pengaruh medan deposisi terhadap struktur atom lapisan, resistansi dan efek MR. Dari spektrum. XRD dinyatakan bahwa lapisan berstruktur kristal dengan puncak-puncak difraksi pada sudut 37,45°, 43,4° dan 44,75° dan bersesuaian dengan unsur Fe₂O₃, NiFe dan NiO. Penambahan B menjadikan ukuran butir cenderung berkurang. Dari uji resistansi dengan probe 4 titik diperoleh resistansi maksimum sebesar l7407,04 ohm yang bersesuaian dengan medan deposisi 0 gauss, hal mana menunjukkan spin-spin elektron lapisan memiliki struktur paling acak. Sedangkan dari uji MR pada medan H = 0 — IS gauss diperoleh medan jenu-h (Hs) semua lapisan l2,5 gauss yang menunjukkan lapisan termasuk jenis soft magnetic. Nisbah MR terbesar 10,23 % yang bersesuaian dengan medan B = 0 gauss sedangkan nisbah MR terkecil 0,9 l % bersesuaian dengan medan B = 300 gauss. Lapisan yang pertama sesuai untuk sensor medan magnet berstruktur lapisan tunggal sedangkan lapisan yang kedua sesuai untuk membuat sensor medan magnet berstruktur multilapis.