PENGUJIAN SIFAT FEROELEKTRIK FILM Ba0,5Sr0,5TiO3 DOPING Nb2O5 (BNST)

Abstract

PENGUJIAN SIFAT FEROELEKTRIK FILM Ba_0,5Sr_0,5TiO₃ DOPING Nb2O5 (BNST). Film BST 1M dan BST 1M doping Nb2O5 dengan variasi % doping (1%, 2%, 4%) dideposisi pada substrat Si (111) dan gelas corning dengan metode penumbuhan CSD (Chemical Solution Deposition) dengan teknik spin- coating pada kecepatan putar 3000 rpm selama 30 detik. Film yang terbentuk dilanjutkan dengan proses sintering pada temperatur 450ºC untuk substrat corning dan 850ºC untuk substrat Si (111) selama 3 jam. Sistem kristal dan orientasi film BST dan BNST diuji dengan difraksi sinar-X dan dilakukan penghalusan (refinement) dengan analisis Rietveld yaitu menggunakan GSAS. Hasil penghalusan dengan GSAS diperoleh fasa BST yang terkandung pada film BST 1M, BNST 1M 1%, 2% dan 4% (substrat silikon) bersesuaian dengan Ba_0,5Sr_0,5TiO₃ (ICDD) dengan sistem kristal kubik dan parameter kisi (a) berturut-turut 3,944Å, 3,949Å, 3,950Å, 3,904Å. Sedangkan untuk film BNST 1M 1%, 2% dan 4% (substrat corning) bersesuaian dengan BaTiO3 (ICDD) dengan sistem kristal tetragonal dan parameter kisi (a=b) berturut-turut 3,997Å, 3,987Å, 3,996Å, parameter kisi (c) 4,051Å, 4,041Å, 4,058Å. Harga polarisasi spontan film pada substrat Si (111) untuk BNST 1M 1% adalah 72,100µC.cm^-2, BNST 1M 2% adalah 71,680µC.cm^-2 dan BNST 1M 4% adalah 51,440µC.cm^-2. Sedangkan harga polarisasi spontan film pada substrat corning untuk BNST 1M 1% adalah 121,440µC.cm^-2, BNST 1M 2% adalah 121,450µC.cm^-2 dan BNST 1M 4% adalah 119,690µC.cm^-2.