KAJIAN PEMBUATAN SENSOR MAGNETORESISTIF BERBASIS BAHAN LAPISAN TIPIS PERMALLOY Ni80Fe20

Fahru Nurosyid, Kamsul Abraha, Agung Bambang S.U.

DOI: http://dx.doi.org/10.17146/jsmi.2000.2.1.4904

Abstract


KAJIAN PEMBUATAN SENSOR MAGNETORESISTIF BERBASIS BAHAN LAPISAN TIPIS PERMALLOY Ni80Fe20. Telah berhasil dilakukan pembuatan sensor medan magnet dengan metoda magnetoresistif. Bahan sensor menggunakan lapisan tipis magnetik permalloy Ni80Fe20 hasil deposisi dengan metode sputtering. Sistem sensor menggunakan sistem jembatan Wheatstone (Sheatstone bridge) yang menggunakan perbandingan R2:R3 = 1:5 (1000 ohm : 5000 ohm) untuk memperoleh keluaran yang optimum. Tegangan yang dibutuhkan untuk mengoperasikan sensor adalah ± 9 volt. Daerah kerja sensor dalam orde 104 sampai dengan 10-3 tesla diperoleh setelah sensor dikalibrasi.

Keywords


Magnetoresistif, permalloy, sputtering, sensor medan magnet.

Refbacks

  • There are currently no refbacks.


Copyright (c) 2000 Jurnal Sains Materi Indonesia

Creative Commons License
This work is licensed under a Creative Commons Attribution-NonCommercial-ShareAlike 4.0 International License.


Center for Science & Technology of Advanced Materials - National Nuclear Energy Agency of Indonesia
Phone : +62 21-758 74261, +62 21-756 2860 ext. 4009-4010, Fax.: +62 21-756 0926, e-mail: jusami@batan.go.id



preview previewpreviewpreviewpreviewpreviewpreviewpreviewpreview previewpreview

View My Stats
Creative Commons LicenseCopyright © 2019 Jusami | Indonesian Journal of Materials Science. This work is licensed under a Creative Commons Attribution-NonCommercial-ShareAlike 4.0 International License (CC BY-NC-SA 4.0).